湿电子化学品:纯度极高的特种化学试剂
2023-12-21
湿电子化学品属于电子化学品领域的一个分支,主要应用于微电子、光电子湿法制程中的各个环节,包括湿法蚀刻、清洗、显影及互联等,是电子信息行业中至关重要的基础化工原材料。湿法电子化学品,又被称为超净高纯试剂,是指其主体成分纯度高于99.9%,并且符合严格要求的杂质离子和微粒数的化学试剂。随着晶圆和面板尺寸的提升以及制程要求的不断提高,对湿法电子化学品的使用量和纯度要求呈现成倍增长的趋势。目前,SEMI标准将湿法电子化学品分为五个等级,分别为G1-G5,其中G4-G5等级可用于高端集成电路领域。 尽管湿...